Cible titanique de pulvérisation d'alliage de Gr1 Gr2 Gr5 TiAl pour le revêtement de PVD

Gr1 Gr2 Gr5 TiAl alliage de titane Titane cible de pulvérisation Pour revêtement PVD

Je suis désolée.

1Le matériau cible

Le matériau cible est le matériau cible bombardé par des particules chargées à grande vitesse. Il y a des métaux, des alliages, des oxydes, etc. Remplacer différents matériaux cibles (tels que l'aluminium, le cuivre,en acier inoxydableIl est possible d'obtenir différents systèmes de films (comme des films en alliage anti-corrosion, résistants à l'usure, super-durs, etc.).

(1) Cibles métalliques: cibles nickel, Ni, cibles titane, Ti, cibles zinc, Zn, cibles chrome, Cr, cibles magnésium, Mg, cibles niobium, Nb, cibles étain, Sn, cibles aluminium, Al, cibles indium, In,cible de fer, Fe, cible d'aluminium de zirconium, ZrAl, cible d'aluminium de titane, TiAl, cible de zirconium, Zr, cible de silicium d'aluminium, AlSi, cible de silicium, Si, cible de cuivre Cu, cible de tantale T, acible de germanium, Ge, cible d'argent, Ag, cible de cobalt, Co, cible d'or, Au, cible de gadolinium, Gd, cible de lanthane, La, cible d'yttrium, Y, cible de cérium, Ce, cible de tungstène, w, cible en acier inoxydable,cible nickel-chrome, NiCr, hafnium cible, Hf, molybdène cible, Mo, fer-nickel cible, FeNi, tungstène cible, W, etc.

(2) Cibles céramiques: cible ITO, cible d'oxyde de magnésium, cible d'oxyde de fer, cible de nitrure de silicium, cible de carbure de silicium, cible de nitrure de titane, cible d'oxyde de chrome, cible d'oxyde de zinc,cible de sulfure de zinc, cible de dioxyde de silicium, une cible d'oxyde de silicium, cible d'oxyde de cérium, cible de dioxyde de zirconium, cible de pentoxyde de niobium, cible de dioxyde de titane, cible de dioxyde de zirconium, cible de dioxyde d'hafnium,cible de diborure de titane, cible de diborure de zirconium, cible de trioxyde de tungstène, cible d'oxyde d'aluminium, d'oxyde de tantale, cible de pentoxyde de niobium, cible de fluorure de magnésium, cible de fluorure d'yttrium, cible de séléniure de zinc,cible de nitrure d'aluminium, cible de nitrure de silicium, cible de nitrure de bore, cible de nitrure de titane, cible de carbure de silicium, cible de niobate de lithium, cible de titanate de praseodyme, cible de titanate de baryum,cible de titanate de lanthane, cible d'oxyde de nickel, cible de pulvérisation, etc.

2Les principales exigences de performance de l'objectif

(1) Purification

La pureté est l'un des principaux indicateurs de performance de la cible, car la pureté de la cible a une grande influence sur la performance du film.les exigences de pureté des matériaux cibles sont également différentesPar exemple, avec le développement rapide de l'industrie de la microélectronique, la taille des plaquettes de silicium est passée de 6" à 8" à 12" et la largeur du câblage a été réduite de 0,5um à 0,25um.18um ou même 0.13um, la pureté précédente de 99,995% peut répondre aux exigences techniques de 0,35umIC, et la préparation de lignes de 0,18um nécessite 99,999% ou même 99,9999% pour la pureté de la cible.

(2) teneur en impuretés

Les impuretés dans le solide cible et l'oxygène et la vapeur d'eau dans les pores sont les principales sources de pollution du film déposé.Différentes cibles ont des exigences différentes pour les différentes teneurs en impuretésPar exemple, les cibles d'aluminium pur et d'alliages d'aluminium utilisées dans l'industrie des semi-conducteurs ont des exigences particulières en ce qui concerne la teneur en métaux alcalins et en éléments radioactifs.

(3) Densité

Afin de réduire les pores dans les solides de la cible et d'améliorer les performances du film pulvérisé, la cible doit généralement avoir une densité plus élevée.La densité de la cible n'affecte pas seulement le taux de pulvérisationPlus la densité cible est élevée, meilleure est la performance du film.l'augmentation de la densité et de la résistance de la cible permet à la cible de mieux résister au stress thermique lors de la pulvérisationLa densité est également l'un des principaux indicateurs de performance de l'objectif.

(4) Taille du grain et répartition de la taille du grain

Le matériau cible est généralement polycristallin, et la taille du grain peut être de l'ordre de microns à millimètres.le taux de pulvérisation de la cible à grains fins est plus rapide que celui de la cible à grains grossiers; l' épaisseur du film déposé par pulvérisation de la cible avec une petite différence de taille des grains (distribution uniforme) est plus uniforme.

3. Matériel

Les États membresTitane pur: GR1 GR2

(2) Les L'alliage de titane: titane Gr5, titane aluminium TiAl, titane nickel TiNi, titane chrome TiCr, titane zirconium TiZr, titane cuivre TiCu, etc.

(3) Les produitsAutres matériaux: cibles de pulvérisation au zirconium, cibles de pulvérisation au chrome, cibles de pulvérisation au tungstène, cibles de pulvérisation au cuivre, etc.

4- Le but.

Il est largement utilisé dans les revêtements décoratifs, les revêtements résistants à l'usure, les CD et les VCD dans l'industrie électronique, ainsi que divers revêtements de disques magnétiques.

Les films à base de tungstène-titane (W-Ti) et les films à base d'alliage de tungstène-titane (W-Ti) sont des films en alliage à haute température dotés d'une série d'excellentes propriétés irremplaçables.Le tungstène possède des propriétés telles qu'un point de fusion élevéL'alliage W/Ti a un faible coefficient de résistance, une bonne stabilité thermique et une bonne résistance à l'oxydation.Certains appareils nécessitent des câbles métalliques qui jouent un rôle conducteur.Cependant, le métal de câblage lui-même est facilement oxydé, réagit avec l'environnement environnantet a une faible adhésion à la couche diélectriqueIl est facile de diffuser dans les matériaux de substrat des dispositifs tels que le Si et le SiO2, et il forme du métal et du Si à une température plus basse.une dégradation importante des performances de l'appareilL'alliage W-Ti est facile à utiliser comme barrière de diffusion de câblage en raison de ses propriétés thermomécaniques stables, de sa faible mobilité électronique, de sa haute résistance à la corrosion et de sa stabilité chimique.particulièrement adapté à une utilisation dans des environnements à courant élevé et à haute température .

Images détaillées

Fabrique

Colis et livraison:

Enveloppons le matériau cible avec du coton perlé et mettons-le dans une boîte en bois.et peut également prévenir l'impact des biens extérieurs sur le produit, et s'assurer que le produit est livré après la livraison.

- Je suis désolé.L'emballage scellé, puis mis dans le boîtier en carton ou boîtier en contreplaqué standard.

- Deux. - Je ne sais pas.Utiliser un carton personnalisé exclusif avec le logo du client, chaque emballage individuel, pour aider les acheteurs à diriger les ventes.

--- Accepter les exigences du client

Assurez-vous que chaque colis est fait sur mesure pour vous.Veillez à ce que les marchandises ne soient pas endommagées.